TLS精密冷水機(jī)：使用溫度范圍：5~85℃，配有加熱器，屬于制冷加熱一體機(jī)。型號(hào)按加熱功率命名，加熱功率在1.5~25kW之間。精密冷水機(jī)可以滿足精確控溫的需求，也可以根據(jù)客戶要求選配流量計(jì)和壓力傳感器。本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體制造裝置、分析檢測裝置等發(fā)熱部分的冷卻及溫度的控制。