精密恒溫恒濕機在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環境對溫控的要求。

半導體恒溫系統主要由加熱循環系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。加熱循環系統包括循環泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環管道等組成。冷卻系統包括油水換熱器、油油換熱器（部分設備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。控制系統采用PID控制技術，高清顯示屏，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。