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  • 溫濕度控制系統
    溫濕度控制系統

    溫濕度控制系統在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣,溫度控制精度可達目標值±0.01℃,充分滿足制程環境對溫控的要求。

    更新時間:2024-11-09型號:瀏覽量:1052
  • 溫濕度控制
    溫濕度控制

    溫濕度控制在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣,溫度控制精度可達目標值±0.01℃,充分滿足制程環境對溫控的要求。

    更新時間:2024-11-09型號:瀏覽量:1245
  • 氣體溫濕度
    氣體溫濕度

    氣體溫濕度在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣,溫度控制精度可達目標值±0.01℃,充分滿足制程環境對溫控的要求。

    更新時間:2024-11-09型號:瀏覽量:942
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