半導體溫控設備Chiller由制冷，加熱單元，循環(huán)，控制系統(tǒng)組成，全密封結(jié)構(gòu)對環(huán)境友好，產(chǎn)品系統(tǒng)多，控溫范圍廣，智能化控制軟件，加熱制冷速度快。

半導體溫控裝置溫度控制裝置 可從高溫300℃直接制冷降溫,低溫可達-150℃,控溫精度0.5℃智能型控溫,性能穩(wěn)定,應用于石化,醫(yī)藥,生化,凍干,軍工等高科技行業(yè)……

半導體專用控溫設備是一種用于半導體芯片測試和制造過程中的溫度控制設備，可用于控制溫度并確保測試結(jié)果的準確性。

半導體恒溫系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器（部分設備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清顯示屏，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統(tǒng)晶圓生產(chǎn)完成后，需要對其進行各種參數(shù)的檢測，在檢測的過程中，需要在不同溫度下進行測試，晶圓測試用溫控設備（晶圓測試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設備。