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普泰克-芯片高低溫測試機操作使用

發布時間: 2025-07-10  點擊次數: 65次
芯片高低溫測試機是半導體行業中用于驗證芯片在溫度環境下性能穩定性的關鍵設備,廣泛應用于芯片研發、量產測試等環節。其操作需嚴格遵循流程,確保測試準確性和設備安全。以下是詳細的操作使用指南:

一、設備基本組成與工作原理

在操作前,需了解設備的核心構成,確保各部件正常運行:


  1. 測試腔(溫箱):封閉空間,可快速升降溫(通常范圍:-60℃~+150℃,部分設備可達 - 100℃~+200℃),內部有樣品放置臺和溫度傳感器。

  2. 溫控系統:含加熱器、制冷機組(如壓縮機制冷 + 半導體輔助控溫)、風道循環裝置,實現腔體內溫度精準控制(波動≤±0.5℃)。

  3. 測試接口模塊

    • 電連接器(如探針臺、測試插座):連接芯片與外部測試儀器(示波器、萬用表、信號發生器等),傳輸電信號。

    • 信號線纜:需耐高溫 / 低溫,避免溫度變化影響信號傳輸。

  4. 控制系統:工業計算機或觸摸屏,用于設置溫度參數、測試流程、報警閾值等,支持手動 / 自動模式。

  5. 安全保護裝置:超溫報警、過流保護、腔門連鎖(開門時暫停升降溫)、制冷機壓力保護等。


工作原理:通過溫控系統將測試腔溫度穩定在目標值,芯片在該溫度下通過接口模塊與測試儀器連接,驗證其電學性能(如電壓、電流、頻率、功耗等)是否符合標準。

二、操作前的準備工作

  1. 環境檢查
    • 設備放置在平整、通風良好的場地,遠離熱源、水源和腐蝕性氣體,預留≥50cm 的散熱空間(尤其制冷機側)。

    • 電源:確認電壓(如 AC 220V/380V)、頻率與設備匹配,接地可靠(避免靜電損壞芯片和設備)。

    • 制冷介質:若為水冷式制冷機,檢查冷卻水流量、壓力是否達標(通常 0.2~0.5MPa),水質需潔凈(避免結垢堵塞)。

  2. 樣品與工具準備
    • 芯片:確認樣品型號、測試要求(如溫度點、測試時長、需驗證的參數),提前固定在測試載具(如 PCB 板、樣品架)上,避免直接用手接觸(需戴防靜電手環 / 手套)。

    • 測試線纜:檢查線纜是否老化、接頭是否松動,確保與芯片引腳、測試儀器接口匹配(如 USB、GPIB、射頻接口等)。

    • 輔助工具:防靜電鑷子、扳手(固定接口)、記錄本(記錄測試數據)。

  3. 設備自檢
    • 開機前檢查腔門密封膠條是否完好(避免溫度泄漏),內部無雜物、水漬。

    • 啟動設備電源,觀察控制面板是否正常自檢(無報錯代碼),風扇、制冷機運行聲音是否正常。

三、詳細操作步驟

步驟 1:樣品裝載與連接

  1. 打開測試腔門(部分設備需先按下 “開門許可" 按鈕,解除連鎖保護),將固定好芯片的載具平穩放置在樣品臺上,確保芯片與樣品臺接觸良好(若需快速傳導溫度,可涂抹導熱硅脂)。

  2. 連接電信號:將測試線纜一端接入芯片引腳(或載具接口),另一端連接到外部測試儀器(如半導體參數分析儀、ATE 自動測試系統),確保接線無誤(避免短路)。

  3. 關閉腔門,確認門扣鎖緊(腔門未關嚴時,設備無法啟動升降溫程序)。

步驟 2:參數設置

  1. 在控制面板或配套軟件中選擇 “手動模式"(單溫度點測試)或 “自動模式"(多溫度點循環測試)。

  2. 關鍵參數設置:

    • 目標溫度:根據測試需求輸入(如 - 40℃、25℃、85℃、125℃),注意不可超過設備溫區范圍。

    • 升溫 / 降溫速率:設置溫度變化速度(通常 5~10℃/min,速率過快可能導致芯片熱應力過大,或溫箱超調)。

    • 穩定時間:溫度達到目標值后,保持該溫度的時間(如 10~30 分鐘,確保芯片溫度與腔體溫一致)。

    • 測試時長:每個溫度點下的測試持續時間(可與穩定時間疊加,或單獨設置)。

    • 報警閾值:設置溫度上下限(如目標溫度 ±5℃),設備自動停機并報警。

步驟 3:啟動測試

  1. 確認參數無誤后,點擊 “啟動" 按鈕,設備開始按程序運行:

    • 若為降溫:制冷機啟動,腔體內溫度下降,風道循環風扇運行(均勻溫度);

    • 若為升溫:加熱器工作,溫度上升;

    • 溫度接近目標值時,系統自動微調(如 PID 控制),進入 “穩定階段"。

  2. 穩定階段結束后,通過測試儀器對芯片進行性能測試(手動記錄數據或通過軟件自動采集)。

步驟 4:多溫度點循環測試(自動模式)

  • 在自動模式下,可預設多個溫度點(如 - 40℃→25℃→85℃→125℃→25℃),設置每個點的穩定時間和測試步驟,設備會自動依次切換溫度并執行測試,適合可靠性驗證(如高低溫循環試驗)。

步驟 5:測試結束與樣品取出

  1. 單個溫度點測試完成后,可手動停止程序,或設置 “結束溫度"(如回到 25℃常溫)。

  2. 待腔體內溫度降至常溫(避免樣品驟冷驟熱損壞),按下 “開門許可",打開腔門,斷開測試線纜,用防靜電鑷子取出芯片,放入防靜電盒中。





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